四探針方阻電阻率檢測儀技術參數1.方塊電阻范圍 10^-5～2×10^5Ω/□2.電阻率范圍 10^-6～2×10^6Ω-cm測試電流范圍 0.1μA ，1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA4.電流精度 ±0.1%5.電阻精度 ≤0.3%6.顯示讀數 液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導率7.測試方式 普通單電測量8.工作電源 輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗 lt;30W

四探針方阻電阻率檢測儀適用于生產企業、高等院校、科研部門，是檢驗和分析導體材料和半導體材料質量的一種重要的工具。本儀器配置各類測量裝置可以測試不同材料。液晶顯示，無需人工計算，并帶有溫度補償功能，電阻率單位自動選擇，儀器自動測量并根據測試結果自動轉換量程，無需人工多次和重復設置。采用AD芯片控制，恒流輸出，結構合理、質量輕便，運輸安全、使用方便；選配：配備軟件可以由電腦操控，并保存和打印數據，自動生成報表；本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示，同時顯示液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導率，配置不同的測試治具可以滿足不同材料的測試要求。測試治具可以根據產品及測試項目要求選購.

技術參數資料 主機加手動裝置一套1.方塊電阻范圍：10-5～2×105Ω/□2.電阻率范圍：10-6～2×106Ω-cm3.電導率范圍：106～0.5×10-6s/cm3.測試電流范圍：0.1μA ，1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100 mA4.電流精度：±0.1%讀數5.整機不確定性重復性誤差：≤3%（平均性誤差，人為因數外）6.顯示讀數：液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導率7.測試方式: 雙電組合測量8.模具選購：模具A內徑：20mm ；模具B:內徑10mm

自動測量晶圓電阻率探針頭方便更換探針頭由軟件可識別探針半徑0.25mm軟件自動計數軟件可以再次測量單點四探針電阻率儀規格參數10x10繪圖測試時間：4分鐘測試電流：30mA可測電阻率：0.001～1999Ω·cm（10-3～10+3Ω·㎝）可測方塊電阻：0.01～19000Ω/□（10-2～10+4Ω/□）注意：使用0.1檔電流測方阻時,由于受數字表位數的限制,電壓表上讀出的方阻數均要×10。例如電流表在0.1ｍA檔,電流選0453,電壓表讀數為1900時, 方阻值為:1900×10=19000(Ω/□);電壓表讀數為860時,方阻值為:860×10=8600(Ω/□)。電流表選在1、10、100 mA檔時不存在以上問題。直流數字電壓表：測量范圍：0～199.9mV靈敏度：100μV準確度：0.2%（±2個字）輸出電阻：≥1000MΩ